Kõrge täpsusega{0}}andurite põhiprintsiip seisneb mõõdetud koguse muutmises täpseks, stabiilseks ja usaldusväärseks elektrisignaaliks täpse disaini, täiustatud tootmisprotsesside, keerukate signaalitöötlusalgoritmide ja rangete veakompensatsioonitehnikate abil. Kõrge täpsuse saavutamise peamised aspektid on järgmised: sensori põhiprintsiipide optimeerimine, suure -jõudlusega materjalid ja täppisstruktuurid, täiustatud tootmisprotsessid (nt MEMS), madal-müratase, kõrge-täpne elektroonikalülitused, temperatuuri kompenseerimine, mittelineaarsus ja lineariseerimine, kalibreerimine ja standardimine, digitaalsete signaalide töötlemine ja häirete summutamine ja summutamine. Põhiidee on kõigi võimalike veaallikate sügav mõistmine ja kvantifitseerimine ning nende tõrgete aktiivne kõrvaldamine või kompenseerimine riist- ja tarkvara koostöös.
Täppistootmise ja -kontrolli valdkonnas kasutatakse ülitäpseid andureid-täpse nihke, mõõtmete ja pinna topograafia mõõtmiseks, näiteks GT2-P12KL pliiatsi-tüüpi kontaktandureid mikronitaseme tuvastamiseks.
Protsessi juhtimise ja jälgimise valdkonnas kasutatakse ülitäpseid andureid karmides tööstuskeskkondades, nagu keemia- ja energiatööstus, ülimalt usaldusväärseks protsessi peamiste parameetrite (nt rõhk, temperatuur ja voolukiirus) jälgimiseks, näiteks OMEGA PX409 seeria ülitäpsed rõhuandurid.
